Scanning Electron Microscope

  分辨率: 5.0nm @30kV SE

  放大倍数: 15x – 150,000x

  加速电压: 1kv - 30kv（step1kV）

  磁透镜系统: 双聚光镜

  物镜光阑: 4位可移动，摇摆对中

  扫描光栅电位移及旋转: +/-50um ，0-360°

  样品室: 6个接口，可接配内外置EDS。

  样品台: X=35mm（马达驱动）

       Y= 35mm（马达驱动）

       T=0-45°（马达驱动）    

       R=360°

       Z=5-50mm         

  样品尺寸（最大）: 70mm (W) x 45mm (H)

  EM-30+高分辨率台式（桌面式）扫描电镜采用大型钨灯丝电镜光路设计，两级透镜一级物镜汇聚，使用二次电子探测器作为基础成像单元。二次电子探测器采集器采用侧位契合式设计，在保证采集信其二次电子分辨率可达全业内最高的5.0nm @30kv SE。EM-30+标配SE+BSE探测器，可以同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集，既能实现对样品形貌衬度分析、元素衬度进行分析，又能实现将二者相结合进行分析，打破了传统台式电镜只能得到样品单一衬度像的瓶颈。